Hauv thaj chaw loj ntawm cov ntaub ntawv science,kub hlau CVD (tshuaj vapor deposition) txheej txheej tshuab tau pom nws txoj haujlwm tshwj xeeb thiab tseem ceeb, thiab txheej txheej txheej txheej zoo li kev ua kom zoo nkauj ntawm kev ua yeeb yam. Nws tsis tsuas yog coj kev tsim kho tshiab rau thaj chaw ntawm cov ntaub ntawv tshawb fawb, tab sis kuj tseem ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv ntau qhov kev lag luam. Kab lus no yuav coj koj mus rau qhov kev tshawb nrhiav tob ntawm lub ntiaj teb tsis meej ntawm cov txheej txheem kub hlau CVD txheej txheem, los ntawm cov hauv paus ntsiab lus mus rau kev xyaum, nthuav tawm nws daim ntaub thaiv tsis meej ib los ntawm ib qho.
Lub hauv paus ntsiab lus ntawm kub hlau CVD txheej
Lub hauv paus ntsiab lus tseem ceeb ntawm cov hlau kub CVD txheej yog tsim ib zaj duab xis nyias ntawm cov substrate nto los ntawm cov tshuaj tiv thaiv. Tom qab cov tshuaj tiv thaiv gases tau nkag mus rau hauv cov tshuaj tiv thaiv chamber, lawv tau dhau los ua cov tshuaj lom neeg muaj zog thiab muaj txiaj ntsig zoo nyob rau hauv qhov kub kub excitation ntawm cov hlau kub. Molecules cuam tshuam, decompose, thiab recombine, maj mam tso rau ntawm lub substrate nto los ua ib tug uniform thiab ntom nyias zaj duab xis.
Kev tswj qhov kub thiab txias yog qhov tseem ceeb hauv cov txheej txheem kub hlau CVD txheej txheem. Txawm tias qhov kev hloov pauv me ntsis hauv qhov kub thiab txias tuaj yeem cuam tshuam rau qhov zoo thiab kev ua haujlwm ntawm cov coatings. Nyob rau tib lub sijhawm, tus nqi ntws thiab kev faib ua feem ntawm cov tshuaj tiv thaiv gases kuj yuav tsum tau tswj nruj me ntsis kom ntseeg tau tias qhov sib xyaw thiab cov qauv ntawm cov txheej ua tau raws li qhov xav tau.
Nyob rau tib lub sij hawm, cov txheej no tseem loj hlob thiab thicken, maj mam endowing lub substrate nrog cov yam ntxwv tshiab thiab kev ua haujlwm. Nws tuaj yeem txhim kho lub hardness thiab hnav tsis kam ntawm lub substrate, los yog muab nws nrog tshwj xeeb kho qhov muag, hluav taws xob, thiab lwm yam khoom.
Cov txheej txheem no suav nrog kev hloov pauv ntawm lub cev thiab tshuaj lom neeg, yuav tsum muaj kev tswj xyuas meej ntawm ntau yam tsis xws li kub, roj ntws, thiab siab.
Cov txheej txheem nthuav dav ntawm cov hlau kub CVD txheej
(1) Kev npaj theem
Ua ntej, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau ua tib zoo tshuaj xyuas thiab debug cov khoom siv txheej txheej kom ntseeg tau tias tag nrho cov khoom ua haujlwm zoo. Xaiv cov ntaub ntawv tsim nyog substrate thiab ntxuav lawv kom tshem tawm cov impurities thiab cov pa phem, npaj rau txheej tom ntej.
(2) Kev teeb tsa thiab cua sov ntawm cov hlau kub
Ua tib zoo xaiv cov xov hlau kub rau hauv cov tshuaj tiv thaiv chamber thiab ua kom sov nrog tam sim no. Qhov kub ntawm cov hlau kub yuav tsum tau maj mam nce mus rau qhov teeb tsa tus nqi, thiab cov txheej txheem no yuav tsum muaj kev tswj xyuas qhov kub thiab txias kom tsis txhob muaj kev cuam tshuam tsis zoo ntawm cov txheej txheej zoo los ntawm qhov kub thiab txias heev.
(3) Taw qhia txog cov roj reactive
Tom qab cov hlau kub ncav cuag qhov kub thiab txias, cov tshuaj tiv thaiv roj tau qhia. Cov pa roj no feem ntau suav nrog ntau qhov sib xyaw ua ke uas ua rau decomposition thiab cov tshuaj tiv thaiv nyob rau hauv qhov kub ntawm cov hlau kub. Kev xaiv thiab ntws tswj ntawm cov tshuaj tiv thaiv roj yog qhov tseem ceeb, vim tias qhov sib txawv ntawm cov roj sib txuas thiab cov nqi ntws yuav txiav txim siab qhov muaj pes tsawg leeg thiab cov khoom ntawm txheej.
(4) Kev tso tawm ntawm cov yeeb yaj kiab nyias
Thaum lub sij hawm sib cuam tshuam ntawm cov tshuaj tiv thaiv roj thiab cov hlau kub, cov khoom siv uas tsim los ntawm decomposition yuav maj mam tso rau ntawm lub substrate nto, tsim ib zaj duab xis nyias. Thaum lub sij hawm, zaj duab xis tseem loj hlob thiab tuab. Nyob rau hauv cov txheej txheem no, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau ua tib zoo saib xyuas lub uniformity thiab thickness ntawm txheej, thiab ua tiav cov txheej txheem zoo tshaj plaws los ntawm kev kho cov txheej txheem tsis.
(5) Kev kho tom qab txheej txheej
Thaum cov txheej txheej mus txog qhov xav tau tuab thiab zoo, nres cov khoom ntawm cov tshuaj tiv thaiv roj thiab maj mam txo qhov kub ntawm cov hlau kub. Ua qhov tsim nyog kuaj thiab tshuaj xyuas ntawm cov coated substrate los ntsuas qhov zoo thiab kev ua haujlwm ntawm cov txheej. Yog tias tsim nyog, kev ua haujlwm ntxiv xws li annealing, etching, thiab lwm yam.
Yam cuam tshuam rau cov txheej txheem kub hlau CVD txheej txheem
(1) Cov khoom siv hlau kub thiab kub
Cov khoom xaiv ntawm cov hlau kub ncaj qha cuam tshuam rau nws lub neej kev pab cuam thiab txheej txheej zoo. Feem ntau hais lus, cov ntaub ntawv uas muaj qhov kub thiab txias tsis kam thiab tshuaj lom neeg ruaj khov zoo dua li cov xov hlau kub. Kev tswj qhov kub ntawm cov hlau kub yog qhov tseem ceeb, vim tias qhov kub siab dhau los yog qis tuaj yeem ua rau muaj qhov tsis xws luag lossis kev ua haujlwm tsis zoo ntawm txheej txheej.
(2) Hom thiab ntws tus nqi ntawm reactive gases
Cov tshuaj tiv thaiv sib txawv yuav tsim cov txheej txheem sib txawv. Yog li ntawd, nws yog ib qho tseem ceeb heev uas yuav tau xaiv cov tshuaj tiv thaiv uas tsim nyog raws li cov yam ntxwv ntawm cov txheej txheem uas yuav tsum tau ua. Nyob rau tib lub sijhawm, qhov loj ntawm cov pa roj ntws tuaj yeem cuam tshuam cov txheej txheem txheej txheej, thiab cov nqi ntws ntau dhau los yog tsis txaus yuav ua rau cov txiaj ntsig tsis zoo.
(3) Cov khoom ntawm lub substrate
Cov khoom siv thiab qhov chaw ntawm lub substrate tuaj yeem cuam tshuam rau txheej txheem txheej. Piv txwv li, cov tshuaj tiv thaiv kev ua haujlwm ntawm cov khoom sib txawv ntawm cov khoom siv substrate thiab cov tshuaj tiv thaiv gases tuaj yeem sib txawv, yog li cuam tshuam rau kev loj hlob thiab qhov zoo ntawm txheej. Qhov roughness thiab huv ntawm lub substrate nto kuj tuaj yeem cuam tshuam qhov adhesion thiab uniformity ntawm txheej.
(4) Lub siab thiab cua hauv cov tshuaj tiv thaiv chamber
Lub siab thiab huab cua nyob rau hauv cov tshuaj tiv thaiv chamber kuj tseem muaj feem cuam tshuam rau txheej txheej txheej txheej. Tsim nyog siab thiab cua tuaj yeem txhawb cov tshuaj tiv thaiv, txhim kho cov txheej txheem zoo thiab zoo
Qhov zoo ntawm cov hlau kub CVD txheej tshuab
(1) Tsawg-kub sedimentation
Piv nrog rau lwm cov txheej txheem txheej txheej, cov hlau kub CVD txheej tuaj yeem nqa tawm ntawm qhov kub thiab txias, txo cov thermal puas rau lub substrate thiab ua rau nws tshwj xeeb tshaj yog haum rau cov ntaub ntawv kub.
(2) tuaj yeem ua tiav txheej txheej ntawm cov khoom sib xyaw
Los ntawm kev xaiv cov tshuaj tiv thaiv sib txawv thiab kev tswj cov txheej txheem, cov txheej txheem nrog cov txheej txheem nyuaj thiab cov qauv tuaj yeem npaj kom tau raws li ntau yam kev xav tau tshwj xeeb.
(3) High sedimentation tus nqi
Nyob rau hauv cov xwm txheej tsim nyog, cov hlau kub CVD txheej muaj qhov tso nyiaj siab, uas tuaj yeem txhim kho kev tsim khoom.
(4) Zoo membrane substrate adhesion
Kub hlau CVD txheej tuaj yeem tsim cov zaj duab xis nyias uas nruj nreem rau hauv lub substrate, nrog adhesion zoo, kom ntseeg tau tias cov txheej tsis yooj yim tev tawm thaum siv.
Daim ntawv thov teb ntawm cov hlau kub CVD txheej tshuab
(1) Kev lag luam semiconductor
Cov yeeb yaj kiab nyias siv hauv kev tsim cov khoom siv semiconductor, xws li rooj vag oxide films thiab hlau thaiv, ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev txhim kho kev ua haujlwm thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv semiconductor.
(2) Optical teb
Optical nyias zaj duab xis tuaj yeem npaj tau, xws li cov yeeb yaj kiab los tiv thaiv cov yeeb yaj kiab, cov yeeb yaj kiab, thiab lwm yam, txhawm rau txhim kho kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv kho qhov muag.
(3) Nyob rau hauv lub tshav pob ntawm lub zog tshiab
Nws muaj kev siv dav hauv cov thev naus laus zis tshiab xws li hnub ci hlwb thiab roj hlwb, thiab siv los npaj cov yeeb yaj kiab tseem ceeb ua haujlwm.
(4) Kev hloov kho deg ntawm cov ntaub ntawv
Cov hlau kub CVD txheej tuaj yeem muab cov khoom siv nrog cov khoom tshiab xws li hnav tsis kam, tiv thaiv corrosion, thiab lwm yam., txuas ntxiv lub neej kev pabcuam ntawm cov ntaub ntawv.
Cov hlau kub CVD txheej tshuab muaj ntau yam zoo. Nws tsis tsuas yog muab kev txhawb zog rau kev tsim cov ntaub ntawv tshawb fawb, tab sis kuj coj ntau yam kev hloov pauv rau peb lub neej. Nrog rau kev nce qib txuas ntxiv thiab kev tsim kho tshiab ntawm cov thev naus laus zis, peb ntseeg tias cov hlau kub CVD txheej tshuab yuav txuas ntxiv ci ntsa iab yav tom ntej thiab ua rau muaj txiaj ntsig zoo rau kev txhim kho tib neeg lub neej.
